高純度氣體

氣體

純度(%)

分子式

氬氣

4N~6N

Ar

氫氣

4N~6N

H2

氦氣

4N~6N

He

氮氣

4N~6N

N2

氧氣

4N~6N

O2

氪氣

4N~5N

Kr

氖氣

4N~5N

Ne

氙氣

4N~5N

Xe

乙炔

2N~4N

C2H2

甲烷

3N~5N

CH4

一氧化碳

2N~4N

CO

一氧化氮

2N~4N

NO

二氧化硫

2N~4N

SO2

二氧化碳

2N~5N

CO2

焊接混和氣體

氣體

平衝氣

濃度範圍

CO2

4Ar

18~22%

CO+O2

Ar

（O2） 3~6%

CO+O2

Ar

（CO2） 5~13%

N2

Ar

0.2~1%

O2

Ar

1~12%

H2

Ar

1~15%

He

Ar

0.5

雷射混合氣體

氣體

平衝氣

濃度範圍

N2+CO2

He

（N2）5~55%

（CO2）3~5%

N2+CO2+CO

He

(N2）

8~32%

（CO2） 8~16%

（CO）2~8%